洁净车间施工工艺:
1. 基材处理:打磨并清洁地面,要求基材干燥、无空鼓;
2.底涂涂装:导电底涂涂装;
3. 铺设铜箔:横竖交叉铺设;
4、中涂涂装:根据所落地面厚度镊防静电中涂;
5、面涂涂装:镬图环氛防静电自流平面漆。适用场所: 适用于通讯设备制造厂、芯片制造厂、S下M车间、光学仪器厂、实验室等有较静电要求的洁净厂房。
洁净室设计参数:
●换气次数:
十万级10-15次/小时;
万级15-25次/小时;
千级50-52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s
●压差:主车间对相邻房间≥5Pa。
●温度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃;
●相对湿度:45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量:总送风量的20%-30%;
●照度:≥300Lux。
洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。
以上信息由专业从事集成电路净化车间装修设计的晴朗净化于2025/8/18 23:39:38发布
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